Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beschafft eine ALE-Trockenätzanlage für Forschungszwecke. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Frist: 2026-10-13

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik schreibt die Lieferung einer ALE-Trockenätzanlage einschließlich Installation, Wartung und Support aus. Die Anlage wird für hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Angebote müssen bis zum 13. Oktober 2026 eingereicht werden. Der Ausführungsort ist Berlin.

Eckdaten

Vergabestelle
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Leistungsort
12489 Berlin, DEU
Angebotsfrist
2026-10-13
Veröffentlicht
2026-09-14
CPV-Codes
42990000

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