Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
Die Universität Heidelberg schreibt die Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD) mit ICP-Quelle für die Forschung aus. — Auftraggeber: Universität Heidelberg · Frist: 2026-10-05
Die Universität Heidelberg vergibt einen Auftrag zur Lieferung einer plasma-verstärkten chemischen Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD) mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP). Die Anlage soll die Abscheidung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme für optische Anwendungen und Lithographieverfahren ermöglichen. Der maximale Auftragswert beträgt 806.000 EUR. Angebote müssen bis zum 05.10.2026 eingereicht werden. Die Lieferung erfolgt in Heidelberg.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Universität Heidelberg
- Leistungsort
- Heidelberg, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-10-05
- Veröffentlicht
- 2026-08-27
- CPV-Codes
- 38000000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV