Deutschland – Elektromechanische Ausrüstung – Reaktives Ionenätzen
Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, beschafft eine elektromechanische Ausrüstung für reaktives Ionenätzen zur Herstellung nanophotonischer Wellenleiter. — Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Frist: 2026-09-11
Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, schreibt die Lieferung und Installation einer hochspezialisierten elektromechanischen Ätzanlage für reaktives Ionenätzen aus. Die Anlage muss verschiedene Ätzregime, eine aktive Helium-Rückseitenkühlung sowie eine Gasbox für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse unterstützen. Die Leistung soll vom 13. Oktober 2026 bis zum 21. Juni 2027 in 91052 Erlangen erbracht werden. Angebote sind bis zum 11. September 2026 einzureichen.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- Leistungsort
- 91052 Erlangen, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-09-11
- Veröffentlicht
- 2026-08-27
- CPV-Codes
- 31720000, 22520000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV