Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ALD-Anlage
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtprozesse bis zum 01.09.2026. — Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Frist: 2026-09-01
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt die Lieferung einer Plasma-gestützten Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) aus. Die Anlage soll für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung auf Substraten von 5 x 5 mm² bis 150 mm Wafer eingesetzt werden und Multilagen-Prozesse ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen. Die Abgabe der Angebote ist bis zum 01.09.2026, 11:00 Uhr, am Standort 07745 Jena möglich.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Leistungsort
- 07745 Jena, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-09-01
- Veröffentlicht
- 2026-08-26
- CPV-Codes
- 38000000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV