Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Deposition Tool 8 Inch
Der Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM beschafft ein UHV-Cluster-System zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern. — Auftraggeber: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM · Frist: 2026-10-05
Der Lehrstuhl für Technische Physik E23 der Technischen Universität München (TUM) schreibt die Lieferung eines UHV-Cluster-Systems für die Fertigung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern aus. Das System muss mehrere UHV-Kammern für Bedampfung, Sputtern, Oxidation und Ionenätzen umfassen sowie eine Flipping-Station für beidseitige Metallisierung. Die Abgabefrist endet am 5. Oktober 2026. Der Ausführungsort ist Garching bei München.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Leistungsort
- 85748 Garching, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-10-05
- Veröffentlicht
- 2026-08-21
- CPV-Codes
- 38000000, 42900000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV