Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Die Ruhr-Universität Bochum beschafft eine DRIE-Ätzanlage für das tiefe Silicium-Ätzen in der MEMS-Forschung. — Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum · Frist: 2026-09-14
Die Ruhr-Universität Bochum schreibt die Lieferung einer DRIE-Ätzanlage für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser aus. Die Anlage soll im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für das tiefe anisotrope Silicium-Ätzen (BOSCH-Prozess) und die Erforschung klimaschonender Ätzgase eingesetzt werden. Angebote müssen bis zum 14. September 2026 eingereicht werden. Der Ausführungsort ist Bochum.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ruhr-Universität Bochum
- Leistungsort
- 44801 Bochum, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-09-14
- Veröffentlicht
- 2026-08-13
- CPV-Codes
- 38000000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV