Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ALD-Anlage
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichten in Jena. — Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Frist: 2026-08-25
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt die Lieferung einer Plasma-gestützten Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) aus. Die Anlage soll für reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener Schichten auf Substraten bis 150 mm Wafer genutzt werden. Die Abgabe der Angebote ist bis zum 25. August 2026 möglich. Der Ausführungsort ist Jena.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Leistungsort
- 07745 Jena, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-08-25
- Veröffentlicht
- 2026-08-10
- CPV-Codes
- 38000000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV