Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Laserlithographie

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft eine Laserlithographie-Anlage für die Herstellung von Quantentechnologien in Ulm. — Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) schreibt die Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für die Mikrostrukturierung von Quantenchips im Reinraum der Universität Ulm aus. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten und der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Angebote müssen bis zum 03.08.2026 eingereicht werden. Der Ausführungsort ist Ulm.

Eckdaten

Vergabestelle
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Leistungsort
89081 Ulm, DEU
Angebotsfrist
2026-08-03
Veröffentlicht
2026-07-03
CPV-Codes
38000000

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