Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Prior Information Notice – Rapid Thermal Processing Equipment (RTA)
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTA)-Systems für 200 mm Wafer. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTA)-Systems zur Verarbeitung von 200 mm Wafern im Rahmen des EU-geförderten APECS-Programms. Das System soll in einer bestehenden Reinraumumgebung installiert werden und für Schlüsselschritte in der Halbleiterfertigung wie Kontaktbildung und Dotierungsaktivierung genutzt werden. Die Vergabe ist für 2026 geplant.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV