Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines maskenlosen Laserlithografie-Systems für Halbleiterforschung. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung eines hochauflösenden maskenlosen Laserlithografie-Systems. Das System soll für die Strukturierung von Halbleiterwafern bis 200 mm Durchmesser mit Submikron-Präzision eingesetzt werden und wird im Rahmen des EU-geförderten APECS-Programms beschafft. Die Installation erfolgt in einem Reinraum der ISO-Klasse 5 in Berlin-Adlershof.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- 12489 Berlin, DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV