Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Prior Information Notice – Laser Manufacturing System for Wafer Processing
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Laserfertigungssystems für die Halbleiter-Waferverarbeitung in Berlin. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung eines hochpräzisen Laserfertigungssystems für die Verarbeitung von Halbleiterwafern (u. a. SiC, GaN, Si) bis 200 mm Durchmesser. Das System soll für Wafer-Dicing, Laserablation, Via-Bohrungen und Bonding-Schicht-Zersetzung eingesetzt werden und muss ISO-Klasse 5 sowie Laser-Schutzklasse 1 erfüllen. Die Installation erfolgt im Reinraum am Standort 12489 Berlin. Die Vergabe ist für 2026 geplant.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- 12489 Berlin, DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV