Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Prior Information Notice – Wafer Thinning Equipment

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung von Wafer-Thinning-Anlagen für die Halbleiterfertigung in Berlin. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung von Wafer-Thinning-Equipment für die Backend-Prozessierung von Halbleiterwafern bis 200 mm Durchmesser. Die Anlage soll präzise Dickenkontrolle und In-situ-Messfunktionen bieten sowie in einem ISO-Klasse-5-Reinraum in 12489 Berlin installiert werden. Die Vergabe ist für 2026 geplant.

Eckdaten

Vergabestelle
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Leistungsort
12489 Berlin, DEU
Veröffentlicht
2026-06-11
CPV-Codes
42990000

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