Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines nasschemischen Prozessgeräts für Single-Wafer-Ätzen im Rahmen des EU-Programms APECS. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung eines hochpräzisen nasschemischen Prozessgeräts für das Ätzen von Halbleiterwafern (Single-Wafer-Verfahren). Das Gerät soll für die Verarbeitung von Materialien wie InP, GaAs, AlGaAs und GaN geeignet sein und in einem ISO-Klasse-5-Reinraum installiert werden. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen des EU-geförderten APECS-Programms und ist für 2026 geplant.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- 12489 Berlin, DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV