Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines nasschemischen Prozessgeräts für Single-Wafer-Ätzen im Rahmen des EU-Programms APECS. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
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