Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems für Halbleitertechnik in Berlin. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen Ätzung von III-V-Halbleitern wie InP, InGaP und AlGaAs. Die Anlage soll in 12489 Berlin geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden. Ziel ist die Erweiterung der Prozessketten im Bereich Mikro- und Nanostrukturierung.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- 12489 Berlin, DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 38000000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV