Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 beschafft ein vollautomatisches Plasmaätzsystem für 300-mm-Halbleiterwafer in Dresden. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt die Lieferung eines vollautomatischen Plasmaätzsystems für 300-mm-Wafer aus. Das System soll in einer Reinraumumgebung der Klasse 1000 (ISO 6) in Dresden eingesetzt werden und dient der Strukturierung von Hochaspektverhältnis-Merkmalen in Silizium und verwandten Materialien. Angebote müssen bis zum 15. Juli 2026 eingereicht werden.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Leistungsort
- 01109 Dresden, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-07-15
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV