Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Prior Information Notice – Sputter Deposition
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Sputter-Depositionssystems für Halbleiterwafer bis 200 mm Durchmesser. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beabsichtigt die Anschaffung eines Sputter-Depositionssystems für die Abscheidung metallischer und isolierender Dünnschichten auf Halbleiterwafern. Das System soll im Rahmen des EU-geförderten APECS-Programms eingesetzt werden und ist für die Integration in eine Reinraumumgebung vorgesehen. Die geplante Vergabe erfolgt voraussichtlich 2026.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- 12489 Berlin, DEU
- Veröffentlicht
- 2026-06-11
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV