Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)
Die Westsächsische Hochschule Zwickau beschafft eine DRIE/RIE-Plasmaätzanlage inklusive Zubehör und Installation für die Forschung. — Auftraggeber: Westsächsische Hochschule Zwickau
Die Westsächsische Hochschule Zwickau schreibt die Lieferung und Installation einer DRIE/RIE-Plasmaätzanlage für die Forschung aus. Die Anlage muss Silizium-Tiefenätzen bis 500 µm sowie reaktives Ionenätzen von Dielektrika-Schichten ermöglichen. Enthalten sind Substratelektrode, Kantenschutz, Endpunktdetektion und Softwaresteuerung. Die Abgabe der Angebote endet am 10. Juli 2026. Der Lieferort ist Zwickau, Deutschland.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Westsächsische Hochschule Zwickau
- Leistungsort
- 08056 Zwickau, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-07-10
- Veröffentlicht
- 2026-06-05
- CPV-Codes
- 38000000, 42990000, 31712330
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV