Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik beschafft das Upgrade eines 200 mm Wolfram-CVD-Systems auf WxZ Sprint Konfiguration. — Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Der Leistungsumfang umfasst die Modifikation des Gasverteilungssystems, die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr sowie die Lieferung, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Komponenten. Angebote sind bis zum 07.07.2026 einzureichen. Der Ausführungsort ist Frankfurt (Oder).
Eckdaten
- Vergabestelle
- IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Leistungsort
- 15236 Frankfurt (Oder), DEU
- Angebotsfrist
- 2026-07-07
- Veröffentlicht
- 2026-06-05
- CPV-Codes
- 42990000, 31712100
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV