Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts beschafft eine Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer-Lithografie. — Auftraggeber: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts schreibt die Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für die Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern aus. Die Anlage soll für iLine- und E-Beam-Lithografie mit wechselnden Fotolacken genutzt werden. Optional kann ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie angeboten werden. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Angebote müssen bis zum 30. Juni 2026 eingereicht werden. Der Ausführungsort ist Stuttgart.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
- Leistungsort
- Stuttgart, DEU
- Angebotsfrist
- 2026-06-30
- Veröffentlicht
- 2026-05-29
- CPV-Codes
- 42990000
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV