Plasmawäscher (PR1130133-2590-W)
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft einen Plasmawäscher zur Abgasreinigung für Halbleiterprozesse in Berlin. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Frist: 2026-09-22
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt die Lieferung eines Plasmawäschers (Plasma Abatement) aus, der schädliche Gase und Partikel aus Plasmabeschichtungs- und Ätzprozessen (PECVD, RIE) in Berlin zersetzt. Das System muss an bis zu 10 Prozesskammern angeschlossen werden können und eine Zerstörungsrate von über 95% aufweisen. Die Angebotsfrist endet am 22.09.2026. Der Auftragswert beträgt maximal 200.000 EUR netto.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
- Leistungsort
- Fraunhofer IZM Gustav-Meyer-Allee 25 13355 Berlin
- Angebotsfrist
- 2026-09-22
- Veröffentlicht
- 2026-08-21
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- All · Öffentliche Ausschreibung
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