System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) (PR1153448-2480-P)
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 beschafft ein Hochaspektverhältnis-Ätzsystem für Halbleiterprozesse in Dresden. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt die Lieferung eines Hochaspektverhältnis-Ätzsystems (IPMS-CNT05.1) mit Hauptrahmen und Prozesskammern aus. Die Leistung ist für den Standort 01109 Dresden bestimmt. Angebote müssen bis zum 15. Juli 2026 um 11:30 Uhr eingereicht werden. Die Bewertung erfolgt nach technischer Ausführung (55 %), Lieferzeit (10 %) und Preis (35 %).
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Leistungsort
- 01109 Dresden
- Angebotsfrist
- 2026-07-15
- Veröffentlicht
- 2026-06-12
- Vergabenummer
- PR1153448-2480-P
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- All · Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- CPV-Codes
- 42990000-2
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV