System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) (PR1153448-2480-P)
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 beschafft ein Hochaspektverhältnis-Ätzsystem für Halbleiterprozesse in Dresden. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Frist: 2026-07-15
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Angebotsfrist
- 2026-07-15
- Rechtsgrundlage
- All · Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb