Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) (PR1119624-2480-P)
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 beschafft ein hochspezialisiertes Single-Wafer-Reinigungssystem für die Halbleiterfertigung mit KI-I2-Mix-Prozess. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt ein offenes Verfahren zur Beschaffung eines Advanced Cleaning Tools (IPMS-MRS09.2) aus. Das System dient der Reinigung und Nassätzung von 200-mm-Wafern in einer Reinraumumgebung (ISO4) und muss Prozessmedien wie KI-I2-Mix, SC1, SC2 und SPM unterstützen. Die Angebotsfrist endet am 03.07.2026. Die Leistung wird in 01109 Dresden erbracht. Die Bewertung erfolgt zu 65 % nach technischer Ausführung und zu 35 % nach Preis.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Leistungsort
- 01109 Dresden
- Angebotsfrist
- 2026-07-03
- Veröffentlicht
- 2026-06-01
- Vergabenummer
- PR1119624-2480-P
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- All · Offenes Verfahren
- CPV-Codes
- 42990000-2
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV