CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) (PR1199438-2050-P)
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 beschafft ein CMP-System für 100/150-mm-Halbleiterwafer mit integrierter Reinigung und optischer Endpunkterkennung bis zum 19.06.2026. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt ein CMP-System zur chemisch-mechanischen Politur von Siliziumoxid-Schichten auf 100-mm- und 150-mm-Halbleiterwafern aus. Das System muss integrierte Reinigung, optische Endpunkterkennung sowie automatische Waferhandhabung und Pad-Konditionierung umfassen. Die Leistung ist am Standort 79108 Freiburg zu erbringen. Angebote sind bis zum 19.06.2026, 09:00 Uhr, einzureichen. Die Bewertung erfolgt zu 65 % nach technischen Kriterien und zu 35 % nach Preis.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Leistungsort
- 79108 Freiburg
- Angebotsfrist
- 2026-06-19
- Veröffentlicht
- 2026-05-22
- Vergabenummer
- PR1199438-2050-P
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- All · Offenes Verfahren
- CPV-Codes
- 42900000-5
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV