Evaporation System (IAF-06.1) (PR1197813-2050-P)
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 vergibt einen Auftrag für ein E-Beam-Verdampfungssystem zur Metallabscheidung auf 150 mm Wafern mit Abgabefrist bis 15. Juni 2026. — Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt ein E-Beam-Verdampfungssystem für die Metallabscheidung auf 150 mm Wafern im offenen Verfahren aus. Das System muss eine Hochvakuum-Prozesskammer mit rotierendem Mehrfach-Tiegel, Substrathalter für mindestens sechs Wafer und eine Steuerungssoftware umfassen. Angebote sind bis zum 15. Juni 2026, 10:00 Uhr einzureichen. Der Zuschlag erfolgt zu 65 % nach technischen Kriterien und zu 35 % nach Preis. Der Ausführungsort ist 79108 Freiburg.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Leistungsort
- 79108 Freiburg
- Angebotsfrist
- 2026-06-15
- Veröffentlicht
- 2026-05-10
- Vergabenummer
- PR1197813-2050-P
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- All · Offenes Verfahren
- CPV-Codes
- 42900000-5
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV