ALD-Anlage
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtprozesse. — Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Frist: 2026-08-11
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) aus, die für die reproduzierbare Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten bis 150 mm Wafer geeignet sein muss. Die Anlage soll Multilagen-Prozesse ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen und wird inklusive Steuer-PC mit Windows 11 und Software-Lizenzen geliefert. Angebote sind bis zum 11. August 2026 einzureichen. Der Ausführungsort ist Jena.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Leistungsort
- 07745 Jena
- Angebotsfrist
- 2026-08-11
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- VgV · Offenes Verfahren
- CPV-Codes
- 38000000-5
- Vergabeplattform
- dtvp
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV