Deposition Tool 8 Inch
Der Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM beschafft ein UHV-Cluster-System zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern. — Auftraggeber: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM · Frist: 2026-10-05
Der Lehrstuhl für Technische Physik E23 der Technischen Universität München (TUM) schreibt die Lieferung eines UHV-Cluster-Systems für die Fertigung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern aus. Das System muss mehrere UHV-Kammern für Verdampfung, Sputtern, Oxidation und Ionenätzen umfassen sowie eine beidseitige Metallisierung ermöglichen. Die Abgabefrist endet am 05.10.2026. Der Ausführungsort ist Garching.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Leistungsort
- Garching
- Angebotsfrist
- 2026-10-05
- Veröffentlicht
- 2026-08-21
- Vergabenummer
- TUM-E23-2026-01
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · open
- CPV-Codes
- 38000000, 42900000
- Vergabeplattform
- dtvp.de
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