FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik beschafft eine ALE-Trockenätzanlage für hochpräzise Halbleiterforschung. — Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Frist: 2026-10-13
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin schreibt die Lieferung, Installation sowie Wartung und Support einer ALE-Trockenätzanlage aus. Die Anlage wird für hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Angebote müssen bis zum 13. Oktober 2026 eingereicht werden.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Leistungsort
- Berlin
- Angebotsfrist
- 2026-10-13
- Veröffentlicht
- 2026-09-13
- Vergabenummer
- FBH-2026-0023
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · neg-w-call
- CPV-Codes
- 42990000
- Vergabeplattform
- vergabekooperation.berlin
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