Laserlithographie
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft eine Laserlithographie-Anlage für die Mikrotechnologie-Prozesskette im Reinraum der Universität Ulm. — Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) schreibt die Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für die Ausstattung eines Reinraums in Ulm aus. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Die Abgabefrist endet am 03.08.2026. Der Reinraum wird von der Universität Ulm zur Verfügung gestellt und soll für die Entwicklung von Quantentechnologien genutzt werden.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Leistungsort
- Ulm
- Angebotsfrist
- 2026-08-03
- Veröffentlicht
- 2026-07-03
- Vergabenummer
- ELVIS-ID E67746541
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · open
- CPV-Codes
- 38000000
- Vergabeplattform
- subreport.de
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV