Reaktives Ionenätzen
Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, beschafft reaktives Ionenätzen für nanophotonische Forschungsprojekte. — Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Frist: 2026-09-11
Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, schreibt reaktives Ionenätzen für die Herstellung freistehender Wellenleiter und nanophotonischer Strukturen aus. Die Leistung umfasst spezielle Ätzprozesse für Diamant und SiC sowie eine Gasbox mit mehreren Leitungen. Angebote sind bis zum 11. September 2026 einzureichen. Der Ausführungsort ist Erlangen.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- Leistungsort
- Erlangen
- Angebotsfrist
- 2026-09-11
- Veröffentlicht
- 2026-08-27
- Vergabenummer
- 2026000322
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · open
- CPV-Codes
- 31720000, 22520000
- Vergabeplattform
- deutsche-evergabe.de
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