ALD-Anlage
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtprozesse. — Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Frist: 2026-09-01
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) aus, die für die reproduzierbare Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten bis 150 mm Wafer genutzt werden soll. Die Anlage muss leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten ohne Vakuumunterbrechung verarbeiten können. Die Abgabe der Angebote ist bis zum 01.09.2026 möglich. Der Ausführungsort ist Jena.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Leistungsort
- Jena
- Angebotsfrist
- 2026-09-01
- Veröffentlicht
- 2026-08-26
- Vergabenummer
- 01.26.O.00
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · open
- CPV-Codes
- 38000000
- Vergabeplattform
- dtvp.de
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV