Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)
Die Westsächsische Hochschule Zwickau beschafft eine DRIE/RIE-Plasmaätzanlage inklusive Installation und Schulung für die Forschung. — Auftraggeber: Westsächsische Hochschule Zwickau
Die Westsächsische Hochschule Zwickau schreibt die Lieferung einer DRIE/RIE-Plasmaätzanlage für plasmachemisches Silizium-Tiefenätzen aus. Die Anlage muss für 100 mm und 150 mm Wafer geeignet sein, eine separate Beschickungskammer sowie eine elektrostatische Substratelektrode mit He-Rückseitenkühlung umfassen. Die Abgabe der Angebote endet am 10. Juli 2026. Der Ausführungsort ist Zwickau.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Westsächsische Hochschule Zwickau
- Leistungsort
- Zwickau
- Angebotsfrist
- 2026-07-10
- Veröffentlicht
- 2026-06-04
- Vergabenummer
- OV 09-26
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · open
- CPV-Codes
- 38000000, 42990000, 31712330
- Vergabeplattform
- dtvp.de
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