Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik beschafft das Upgrade eines 200 mm Wolfram-CVD-Systems auf WxZ Sprint Konfiguration. — Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Die IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Das Projekt umfasst Anpassungen am Gasverteilungssystem, Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr sowie die Inbetriebnahme und Qualifizierung der Hard- und Software. Die Leistung ist in Frankfurt (Oder) zu erbringen. Angebotsfrist endet am 07.07.2026.
Eckdaten
- Vergabestelle
- IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Leistungsort
- Frankfurt (Oder)
- Angebotsfrist
- 2026-07-07
- Veröffentlicht
- 2026-06-04
- Vergabenummer
- IHP-2026-018
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- 32014L0024 · neg-w-call
- CPV-Codes
- 42990000, 31712100
- Vergabeplattform
- vergabemarktplatz.brandenburg.de
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