maskenloses UV-Direktlithographie-System
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein maskenloses UV-Direktlithographie-System für Forschung und Kleinserien-Prototyping. — Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena schreibt die Lieferung eines kompakten, reinraumtauglichen Tischsystems zur maskenlosen UV-Direktlithographie aus. Das System soll sowohl rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch vektorbasierte Direktbelichtung für hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen ermöglichen. Angebote müssen bis zum 25. Juni 2026 eingereicht werden.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Leistungsort
- DEU
- Angebotsfrist
- 2026-06-25
- Rechtsgrundlage / Verfahren
- vgv · open
- CPV-Codes
- 38000000
- Vergabeplattform
- evergabe-online.de
Ausschreibungen nach Region & Branche: Mecklenburg-Vorpommern · Rostock · Schwerin · Bau in MV · Handwerk in MV